Предельный вакуум, создаваемый высоковакуумными агрегатами указанного типа, составляет 5-10-6 мм рт. ст.
Для соединения или перекрытия отдельных частей вакуумных систем служат вентили. На рис. 14 показаны конструкции вентилей, у которых шток уплотнен сильфоном 5.
Перекрытие вентиля производится прижатием металлического клапана 1 с резиновой прокладкой 2 (рис. 14, б) к седлу стального корпуса 3. Перемещение клапана происходит при повороте гайки 4 или винта 6. Шток 7 удерживается от поворота шпонкой.
Рис. 14. Сильфонные вакуумные вентили: а - с металлическим клапаном; б - с резиновой прокладкой клапана.
Высоковакуумный вентиль с электромагнитным уплотнением (иногда такие вентили называют клапанами) показан на рис. 15, а. Открывание вентиля происходит при помощи пружины 1, упирающейся в сердечник 2.
Уплотняющим элементом служит резиновая прокладка 3 клапана 4. Электромагнит позволяет автоматизировать управление вентилем. На рис. 15, б показан высоковакуумный вентиль.
Клапан 5 вентиля через рычажную систему связан с сердечником 6 электромагнита постоянного тока, катушка 7 которого приводится в возвратно-поступательное движение при помощи винта 8 и гайки 9.
Вакуумное уплотнение обеспечивается сплавом галлия, заполняющим кольцевую выточку корпуса вентиля, куда входят края клапана. Сплав плавится нагревателем 10; в выточке корпуса циркулирует вода, охлаждающая сплав в то время, когда затвор закрыт или открыт.
Температура плавления сплава 80-100°С. Диаметр проходного отверстия вентиля 80 мм. В практике используют и другие конструкции вакуумных вентилей.
Рис. 15. Высоковакуумные вентили с электромагнитным управлением: а - с резиновой прокладкой клапана; б - с уплотнением клапана сплавом.