Вакуумные электропечи конструктивно выполняются в различных вариантах: колпаковые, элеваторные, муфельные, безмуфельные, непрерывного действия и др.
Широкое распространение получила колпаковая вакуумно-водородная электропечь ИО59.007 со стержневыми молибденовыми нагревателями.
Электропечь снабжена вакуумным агрегатом ВА-5-4, двумя форвакуумными насосами ВН-1 и системой автоматического регулирования температуры с поддержанием разрежения в заданных пределах.
Технические характеристики вакуумных и вакуумно-водородных печей приведены в табл. 9.
В отличие от других вакуумная электропечь СКБ-7050 (табл. 10) позволяет производить пайку при температурах до 2000°С Электропечь футерована графитом, который заключен в кожух из нержавеющей стали. Нагревателями служат 12 графитовых стержней, соединенных в нижней части общим нулевым кольцом.
В верхней крышке электропечи имеется гляделка для установки радиационного пирометра, а на боковой стенке термопарный ввод. Регулирование температуры до 1200° С производится с помощью автоматического потенциометра ПСР-1-01 и термопары ТПП-11.
При температурах свыше 1200°С регулирование производится с помощью трехпозиционного устройства, встроенного в прибор ЭПП-16А и работающего в комплексе с радиационным пирометром.
Вакуумный блок состоит из бустерного паромасляного вакуумного насоса БН-2000 и механического насоса ВН-4Г.
Электропечь оснащена аппаратурой для измерения вакуума и блокировочным вакуумметром ВМБ-2 в случае падения вакуума в рабочей камере.
Питание электропечи осуществляется через два печных трансформатора ТСУ-120/05 и автотрансформатор АТМК-250/05А.
Для пайки изделий в крупносерийном и массовом производстве при температурах до 1000°С можно рекомендовать высокопроизводительную вакуумную элеваторную электропечь сопротивления СЭВ-8.8/16ЭМ1 (рис. 11, табл. 10).
Она предназначена для пайки припоями, имеющими в расплавленном состоянии упругость паров не более 10-5 мм рт. ст. (для изделий из металлов, металлокерамики, полупроводниковых материалов и т. д.).
Откачная система электропечи состоит из механического насоса ВН-4Г, высоковакуумного агрегата ВА-20-1М и механического насоса ВН-1МГ.
Регулирование температуры автоматическое. Предусмотрена блокировка, обеспечивающая безопасную работу электропечи.
Основные технические характеристики вакуумных электропечей непрерывного действия приведены в табл. 11.
В производстве электровакуумных приборов применяют конвейерные вакуумно-водородные электропечи с шлюзованием паяемых изделий.
Например, печь типа И.059.012 обеспечивает производительность 20 паяных изделий в час. Режимы пайки в электропечи программируют и фиксируют с помощью самопишущих приборов.
Для пайки изделий, изготовленных из титана, циркония, бериллия, применяют вакуумные электропечи без керамической футеровки, например, высокотемпературную вакуумную электропечь с экранной теплоизоляцией типа СШВ-15.15/13Э-М2.
Печь состоит из трех тепловых зон, нагреватели питаются от сети через понижающие трансформаторы. Предварительная откачка производится насосами ВН-4Г.
Высоковакуумная откачка камеры производится тремя агрегатами РВА-6-1. Теплоизоляция состоит из пяти молибденовых экранов и двух из нержавеющих сталей.