Диффузионная сварка в вакууме, предложенная профессором Н. Ф. Казаковым, тоже представляет собой процесс сварки давлением (рис. 5). Отдельные детали, подготовленные под сварку, помещают в вакуумную камеру, в которой создается разрежение 10-3—10-4мм рт. ст.
Рис. 5. Схема процесса диффузионном сварки.
Затем включается нагрев до температуры, вполне определенной для каждой пары металлов, и создается давление прижима. Через короткое время образуется соединение, в котором поверхность первоначального контакта практически отсутствует. Этот метод применим и для соединения разнородных материалов: металл—керамика, металл — кварцевое стекло. Вакуум, образуемый внутри камеры, активизирует соединяемые поверхности, освобождая их от адсорбированных слоев и, частично, от слоев окислов, а давление создает условия физического контакта при повышенной температуре. Таким образом, появляются условия для диффузии свариваемых материалов через границу раздела.
В некоторых случаях вакуум можно заменить атмосферой инертных газов (Аг).